您好！歡迎訪問科睿設備有限公司網(wǎng)站！
咨詢熱線
13916855175
13916855175
簡要描述：等離子體原子/離子源-真空組件產(chǎn)生感應耦合等離子體,包括氮氣,氧氣和氫氣等分子氣體。使用1個射頻線圈（頻率13.56MHz）,能量將轉化為等離子體，這會產(chǎn)生僅具有低離子能量的"軟"等離子體。我司提供的這款電子束蒸發(fā)源是由高質量，*與高真空兼容材料構成，并且可以烘烤至250℃。
產(chǎn)品型號：廠商性質：代理商更新時間：2025-02-27訪 問 量：2602詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 |
等離子體原子/離子源
我司提供等離子體源是通過將氣體分離來產(chǎn)生感應耦合等離子體,包括氮氣,氧氣和氫氣等分子氣體。使用1個射頻線圈（頻率13.56MHz）,能量將轉化為等離子體，這會產(chǎn)生僅具有低離子能量的"軟"等離子體。
我司提供的這款電子束蒸發(fā)源是由高質量，*與高真空兼容材料構成，并且可以烘烤至250℃。
等離子體原子/離子源-真空組件
應用范圍:
氧化物
氮化物
摻雜
配置參數(shù)：
多種型號不同功率RF等粒離子體源可選;
在等離子體源終端位置可添加離子束加熱器
自動匹配網(wǎng)絡
等粒子體監(jiān)測
手動/自動 擋板
放電管
適用氣體，如O2, N2, H2, CH4等
占用空間小
冷卻水流量低,
氣體流速可控
產(chǎn)品咨詢
掃一掃，關注微信電話
微信掃一掃
當前位置：